燃燒法

    包括高溫燃燒和催化燃燒，前者需要附加燃料燃燒，因此，使用該法時要考慮回收利用熱能；催化燃燒是一種類似熱氧化的方式來處理VOCs的，它凈化有機物是用鉑、鈀等貴金屬催化劑及過渡金屬氧化物催化劑來代替火焰，操作溫度較熱氧化低一半，通常為250℃~500℃。由于溫度降低，允許使用標準材料來代替昂貴的特殊材料，大大地降低設備費用和操作費用。與熱氧化相似，系統仍可分為間壁式和蓄熱式兩類熱量回收方式。催化燃燒能耗低，但在工作初期，需用電加熱將廢氣加熱到起燃溫度，故對于頻繁開停車的場合不合適。

    吸收法

    即采用適當的吸收劑（如柴油、煤油、水等介質）在吸收塔內進行吸收，吸收到一定濃度后進行溶劑與吸收液的分離，溶劑回收，吸收液重新使用或另行處理，采用這種方法的關鍵是吸收劑的選擇。由于溶劑與吸收劑的分離較為困難，因此其應用受到了一定的限制。

    活性炭吸附法

    采用多孔活性炭或活性炭纖維吸附有機廢氣，飽和后用低壓蒸汽再生，再生時排出溶劑廢氣經冷凝、水分離后回收溶劑，適用于不連續的處理過程，特別對低濃度有機廢氣中的溶劑回收有很好的效果。

    光觸媒分解法

    光觸媒從發現到今天已有四十余年，而真正進入實際應用不過才10余年時間。光觸媒也叫光催化劑，學術上的定義為以二氧化鈦為代表的，在光的照射下自身不起變化，卻可以促進化學反應，具有催化功能的半導體材料的總稱。具體反應是：二氧化鈦在吸收太陽光或照明光源的紫外線后，形成強氧化的羥基自由基，把空氣中游離的有害物質及微生物分解成無害的二氧化碳和水。也就是說，光觸媒在光的照射下，會產生類似光合作用的光催化反應，具有極強的光氧化還原功能，能將細菌及有機氣體分解成無害的水和二氧化碳。因而光觸媒具有極強的殺菌、除臭、防霉、防污自潔、凈化空氣功能。

    低溫等離子分解法

    低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質的第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。

    低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到分解污染物的目的。